柔性

柔性触觉传感器是电子皮肤、智能机器人、可穿戴医疗和人机交互系统中的关键感知单元，其发展目标正由单一压力检测逐步拓展至复杂形变、动态接触和多场景触觉信息的稳定识别。

电磁感应型柔性触觉传感器通过外力诱导磁体与线圈之间发生相对位移、姿态变化或间隙变化，使线圈磁通量改变并输出感应电压或电流信号。

其中，器件设计与制备包括柔性磁体和线圈加工制备；

在制备工艺方面，综述分别总结了线圈与柔性磁体的典型制造路线。

建立了“制备工艺-结构设计-后端处理”研究框架，综述了线圈与柔性磁体制备、磁微柱/仿生/薄膜结构设计以及信号处理与电路集成策略。

系统阐明了FTS-EMI的力-磁-电耦合理论，涵盖电磁感应机理、柔性磁体空间磁场分布、线圈性能以及等效物理模型。

柔性磁体制备主要围绕NdFeB等高磁能积材料与弹性基体的复合展开，涉及模具辅助成型、磁场辅助排列和增材制造等方法。

面向医疗健康监测，其自供能和柔性特征有助于构建更低功耗、更贴合人体的传感器件；

该类传感器兼具自供能潜力、清晰的幅值与相位信息、较强的结构鲁棒性和良好的复杂形变适应能力，在柔性可穿戴、智能机器人和硬件加密等方向具有独特优势。