−50°C至200°C

离子补偿，破解三难题：提出离子补偿辅助光刻(ICAP)策略，将紫外诱导的物理/化学双交联与后续离子补给结合，在保持微米级图案边界的同时恢复移动离子含量，实现2μm图案分辨率、15.6μFcm⁻²电容以及−50°C至200°C的热稳定性。