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分辨率

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三维纳米制造已实现数十纳米的加工精度，但其质量表征仍面临关键瓶颈：传统原位成像分辨率不足，而SEM/AFM观测三维内部结构常需破坏样品。

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图22D与3D纳米结构的PPI-DLW加工与PPI成像分辨率验证。

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该技术首次将原位成像分辨率推进至百纳米级别（约200nm），为实现纳米制造过程的实时监测与缺陷识别奠定了技术基础。

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