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外媒在报道中
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阿斯麦的下一代极紫外光刻机,应该就是
外媒在报道中
提到的高数值孔径(High-Na)的极紫外光刻机,将提高半导体微细加工所需的电路分辨率,阿斯麦计划在2023年推出这一光刻机的原型机,单台的售价预计将达到5000亿韩元,折合约4.5亿美元,三星电子希望投资阿斯麦这一光刻机的研发,也希望先于台积电获得这一类型的极紫外光刻机,以便在技术上领先。
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