侧壁

在不同Ag金属薄膜厚度下，h光源信息，i发光线宽和发光强度，j侧壁Ag金属薄膜厚度的变化趋势。

此外，在金属沉积的过程中，侧壁角度θ也会影响侧壁的Ag金属薄膜厚度lSidewallThickness，满足关系式lSidewallThickness=lAgThickness·cosθ。

除了光刻工艺以外，Ag金属薄膜的制备也对亚微米光源有着重要的影响。

bSASE器件的设计示意图；

bSASE器件的设计示意图；

相反，侧壁的光发射将被抑制，PL强度衰减，发光线宽变窄(图3c-e)。